エッチングガス

- パーフルオロカーボンとはパーフルオロカーボンは、その名の通り、炭素とフッ素だけから構成される化合物です。フッ素は、あらゆる元素の中で最も反応しやすい元素として知られていますが、一方で、ひとたび炭素と結合すると、きわめて安定した状態になります。そのため、パーフルオロカーボンは、熱や薬品に強く、燃えにくい、電気を通しにくいといった優れた特性を持ちます。1980年代から、これらの特性を生かして、様々な産業分野で利用されるようになりました。特に、半導体や液晶ディスプレイなどの電子機器の製造過程において、欠かせない存在となっています。例えば、半導体の製造過程では、シリコンウェハーに微細な回路パターンを転写するためにエッチングという工程があります。パーフルオロカーボンは、このエッチング工程でガスとして用いられ、不要な部分を削り取る役割を担います。また、製造過程で生じる微細な汚れを洗浄する際にも、パーフルオロカーボンが液体として利用されています。このように、パーフルオロカーボンは、現代のハイテク産業を支える重要な物質となっています。